Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren
EP2090598
Art B1
29. Juni 2011
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2090598
- Aktenzeichen
- EP09001922
- Anmeldetag
- 11. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 29. Juni 2011
- Erteilung
- 29. Juni 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08F220/28C08F220/16C08F220/20G03F7/004// C08F220/24C08F220/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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