Vakuumbeschichtungsinstallation und Verfahren zur Erzeugung einer Beschichtung auf einem Substrat.

EP2090674 Art B1 13. März 2013

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2090674
Aktenzeichen
EP08100933
Anmeldetag
25. Januar 2008
Veröffentlichung
13. März 2013
Erteilung
13. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56C23C16/54C23C16/52C23C14/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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