Fehlerätzen von Germanium

EP2090675 Art B1 20. Mai 2015

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2090675
Aktenzeichen
EP08150895
Anmeldetag
31. Januar 2008
Veröffentlichung
20. Mai 2015
Erteilung
20. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C23F1/24C09K13/08C09K13/12H01L21/306H01L21/3213
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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