Elektronenmikroskop zur Erfassung von Niedrigspannungsfeldemissionen

EP2091065 Art A1 19. August 2009

Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2091065
Aktenzeichen
EP08002916
Anmeldetag
18. Februar 2008
Veröffentlichung
19. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/285H01J37/28H01J37/244
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ETH Zurich
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 ETH Zürich

Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.

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