Vorrichtung zur Verarbeitung eines Substrats
EP2091067
Art A1
19. August 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2091067
- Aktenzeichen
- EP08101624
- Anmeldetag
- 14. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 19. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Buchhold, Jürgen
Frankfurt am Main, Deutschland
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Iridium IP · Mannheim
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Schickedanz, Willi
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