Verfahren zur Herstellung von hydrophoben Oberflächen
EP2091074
Art A1
19. August 2009
Anmelder: S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies, S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies, S.O.I. TEC Silicon 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2091074
- Aktenzeichen
- EP08290533
- Anmeldetag
- 10. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 19. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/762
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies
S.O.I. TEC Silicon on Insulator Technologies
S.O.I. TEC Silicon - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.
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