Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zum Bilden einer Resiststruktur damit
EP2093213
Art B1
4. Oktober 2017
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2093213
- Aktenzeichen
- EP09153291
- Anmeldetag
- 20. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2017
- Erteilung
- 4. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004C07C69/67G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Fachgebiete
Vertreten von
Hart-Davis, Jason
Paris, Frankreich
1.276
Patente gesamt
31
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Portal, Gérard
NoneParis