Messanordnung und Messverfahren
EP2093536
Art B1
20. Januar 2021
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2093536
- Aktenzeichen
- EP07849805
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2021
- Erteilung
- 20. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Petzold, Silke
Ladenburg, Deutschland
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