Partikelinspektionsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
EP2093611
Art A3
27. Juni 2012
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2093611
- Aktenzeichen
- EP09001620
- Anmeldetag
- 5. Februar 2009
- Veröffentlichung
- 27. Juni 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Vertreten von
Weser, Wolfgang
München, Deutschland
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