Verfahren zur UV-Immersionsphotolithografie

EP2093615 Art A1 26. August 2009

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2093615
Aktenzeichen
EP09151389
Anmeldetag
27. Januar 2009
Veröffentlichung
26. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F7/09
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Commissariat à l'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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