Verfahren zur UV-Immersionsphotolithografie
EP2093615
Art A1
26. August 2009
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2093615
- Aktenzeichen
- EP09151389
- Anmeldetag
- 27. Januar 2009
- Veröffentlichung
- 26. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F7/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Vertreten von
Guérin, Michel
Arcueil, Frankreich
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