Einen Auflösungsbeschleuniger mit Niedrigem Molekulargewicht Enthaltende Zusammensetzung zur Bildung eines Resistgrundfilms

EP2095189 Art B1 10. Juli 2013

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2095189
Aktenzeichen: EP07850422
Anmeldetag: 11. Dezember 2007
Veröffentlichung: 10. Juli 2013
Erteilung: 10. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/095H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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