Verfahren zum Herstellen einer Halbleiter-Auf-Isolator-Struktur

EP2095406 Art A1 2. September 2009

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2095406
Aktenzeichen
EP06842378
Anmeldetag
26. Dezember 2006
Veröffentlichung
2. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/322H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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