Gesprühtes Si- oder Si:AI-Target mit geringem Eisengehalt

EP2096189 Art A1 2. September 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2096189
Aktenzeichen: EP08152076
Anmeldetag: 28. Februar 2008
Veröffentlichung: 2. September 2009
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C4/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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