Verfahren zur Herstellung eines Epitaxial-Siliciumwafers

EP2096196 Art A1 2. September 2009

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2096196
Aktenzeichen
EP09002676
Anmeldetag
25. Februar 2009
Veröffentlichung
2. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06C30B25/02H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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