Optisches System mit Austauschbarer Manipulierbarer Korrekturanordnung zur Verminderung von Bildfehlern
EP2097789
Art B1
1. August 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2097789
- Aktenzeichen
- EP07846848
- Anmeldetag
- 27. November 2007
- Veröffentlichung
- 1. August 2012
- Erteilung
- 1. August 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B7/14G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Okon, Thomas
Oberkochen, Deutschland
2
Patente gesamt
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