Substrataufnahmebehälter

EP2098351 Art B1 19. März 2014

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Polymer Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2098351
Aktenzeichen
EP07831835
Anmeldetag
14. November 2007
Veröffentlichung
19. März 2014
Erteilung
19. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
B29C45/16B29C45/14B65D1/24B65D85/86H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Polymer Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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