Beschichtungsvorrichtung mit Drehmodul

EP2098608 Art A1 9. September 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2098608
Aktenzeichen
EP08102305
Anmeldetag
5. März 2008
Veröffentlichung
9. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C23C14/56C23C16/04C23C16/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Kanzlei
LermerRaible Patent- u. Rechtsanwalts PartGmbB München, Deutschland

Geführt von Dipl.-Phys. Christoph Lermer und Dipl.-Ing. Thilo Raible, beide mit Zweitkarrieren in Halbleiter- beziehungsweise Elektrotechnikindustrie. In der Münchner Ludwigsvorstadt ansässig, berät die Kanzlei zu Patent-, Marken-, Wettbewerbs- und Kartellrecht mit weltweitem Netzwerk.

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