Filmabscheidungsvorrichtung und Filmabscheidungsverfahren

EP2099062 Art B1 30. März 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2099062
Aktenzeichen: EP07832787
Anmeldetag: 29. November 2007
Veröffentlichung: 30. März 2016
Erteilung: 30. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von