Filmbildungsvorrichtung und Verfahren zur Bildung eines Films

EP2099063 Art B1 7. März 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Rohm Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2099063
Aktenzeichen: EP07832789
Anmeldetag: 29. November 2007
Veröffentlichung: 7. März 2018
Erteilung: 7. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/36H01L21/205C23C16/44C23C16/46C30B25/10C23C16/32C23C16/48H01L21/02H01L21/67H01L21/677H01L21/687H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Rohm Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Rohm

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).

837 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von