Partikelhaltige Ätzpasten für Siliziumoberflächen und -Schichten

EP2099877 Art B1 26. November 2014

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2099877
Aktenzeichen: EP07818738
Anmeldetag: 5. Oktober 2007
Veröffentlichung: 26. November 2014
Erteilung: 26. November 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C09K13/02C03C15/00H01L21/311H01L31/18C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

5.679 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von