Verfahren zur Bestimmung von Restfehlern
EP2100189
Art B1
20. Juni 2018
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2100189
- Aktenzeichen
- EP07846501
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2018
- Erteilung
- 20. Juni 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Dittmann, Olaf
Oberkochen, Deutschland
1
Patente gesamt
1
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muhsfeldt, Willi
NoneJena