Verfahren zur Bestimmung von Restfehlern
EP2100189
Art B1
20. Juni 2018
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2100189
- Aktenzeichen
- EP07846501
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2018
- Erteilung
- 20. Juni 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Dittmann, Olaf
Oberkochen, Deutschland
1
Patente gesamt
1
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muhsfeldt, Willi
NoneJena