Optisches Element und Beleuchtungsoptik für die Mikrolithographie
EP2100191
Art B1
11. November 2015
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2100191
- Aktenzeichen
- EP07856950
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 11. November 2015
- Erteilung
- 11. November 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
38.880
Patente gesamt
25
Patentanwälte
2
Standorte
Weitere Vertreter
-
Carl Zeiss AG - Patentabteilung
Carl Zeiss AG - Patentabteilung · Oberkochen