Ätzen von Amorphen Halbleiteroxiden mit einer Alkaliätzlösung
EP2100326
Art B1
22. September 2010
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2100326
- Aktenzeichen
- EP07832605
- Anmeldetag
- 20. November 2007
- Veröffentlichung
- 22. September 2010
- Erteilung
- 22. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Vertreten von
Weser, Wolfgang
München, Deutschland
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