Lacton enthaltende Verbindung, Polymer, Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren

EP2100887 Art B1 3. Juli 2013

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2100887
Aktenzeichen: EP09003396
Anmeldetag: 9. März 2009
Veröffentlichung: 3. Juli 2013
Erteilung: 3. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C07D307/83C07D307/85C07D311/74C07D313/08C07D493/22G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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