Symmetrisches Objektiv mit vier Linsengruppen für die Mikrolithographie
EP2101209
Art A1
16. September 2009
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2101209
- Aktenzeichen
- EP09008347
- Anmeldetag
- 4. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 16. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B13/14G02B13/26G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Okon, Thomas
Oberkochen, Deutschland
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