Abziehbad zur Kupfer/Low-k BEOL-Reinigung
EP2101219
Art A1
16. September 2009
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2101219
- Aktenzeichen
- EP09003683
- Anmeldetag
- 13. März 2009
- Veröffentlichung
- 16. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB
München, Deutschland
ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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