Filmabscheidungsvorrichtung und Filmabscheidungsverfahren

EP2101345 Art B1 9. September 2015

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2101345
Aktenzeichen: EP07832784
Anmeldetag: 29. November 2007
Veröffentlichung: 9. September 2015
Erteilung: 9. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/46H05B6/06H05B6/10H05B6/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von