Anordnung sowie ein Verfahren zur Steuerung von Trocknungsprozessen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen
EP2102574
Art A1
23. September 2009
Anmelder: ABB AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2102574
- Aktenzeichen
- EP07856648
- Anmeldetag
- 12. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 23. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F26B21/12G01N21/35G01N21/61H01L21/00H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ABB AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇨🇭
ABB
Schweizerisch-schwedischer Technologiekonzern mit Sitz in Zürich. Fokussiert auf Elektrifizierung, Robotik, industrielle Automatisierung sowie Antriebstechnik für Industrie- und Energiekunden.
13.188 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schmidt, Karl Michael
Duisburg, Deutschland
337
Patente gesamt
24
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte