Elektronenmikroskop und ein Verfahren zur Messung der Defokusstreuung oder der Grenzauflösung

EP2102886 Art B1 31. August 2011

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2102886
Aktenzeichen: EP07856102
Anmeldetag: 13. Dezember 2007
Veröffentlichung: 31. August 2011
Erteilung: 31. August 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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