Einrichtung und Verfahren zur Nassbehandlung von Plattenartigen Artikeln
EP2102895
Art B1
12. Januar 2011
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2102895
- Aktenzeichen
- EP07822697
- Anmeldetag
- 19. November 2007
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2011
- Erteilung
- 12. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/687H01L21/683G03F7/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte