Verfahren zum Herstellen eines Gemischten Substrats

EP2102903 Art A1 23. September 2009

Anmelder: Soitec, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2102903
Aktenzeichen
EP07857491
Anmeldetag
12. Dezember 2007
Veröffentlichung
23. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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