Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche
EP2106303
Art B1
10. Oktober 2012
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2106303
- Aktenzeichen
- EP08701344
- Anmeldetag
- 9. Januar 2008
- Veröffentlichung
- 10. Oktober 2012
- Erteilung
- 10. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B3/02H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte