Elektrostatisch betätigbare MEMS-Vorrichtung mit verringerter Substrataufladung

EP2107038 Art B1 16. Mai 2012

Anmelder: IMEC, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2107038
Aktenzeichen
EP09156532
Anmeldetag
27. März 2009
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Erteilung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00H01H59/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Katholieke Universiteit Leuven
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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