Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Vakuumwickelfolie
EP2107132
Art B1
14. September 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2107132
- Aktenzeichen
- EP07831980
- Anmeldetag
- 16. November 2007
- Veröffentlichung
- 14. September 2011
- Erteilung
- 14. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Albutt, Anthony John
London, Großbritannien
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