Vorrichtung und Mikroskop zur Erfassung des Brennpunktes

EP2107406 Art A1 7. Oktober 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2107406
Aktenzeichen
EP08703323
Anmeldetag
9. Januar 2008
Veröffentlichung
7. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/28G02B21/06G02B21/24G02B21/32G02B21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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