Vorrichtung zur Ablage eines Dünnfilms auf Siliziumbasis und Verfahren zur Ablage eines Dünnfilms auf Siliziumbasis

EP2107593 Art A3 14. Dezember 2011

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2107593
Aktenzeichen
EP09250884
Anmeldetag
27. März 2009
Veröffentlichung
14. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C14/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK Insulators, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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