Reaktives Magnetron-Sputtern zur Grossflächigen Abscheidung von Chalkopyrit-Absorberschichten für Dünnschichtsolarzellen

EP2108052 Art B1 12. Oktober 2011

Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2108052
Aktenzeichen
EP07817786
Anmeldetag
7. November 2007
Veröffentlichung
12. Oktober 2011
Erteilung
12. Oktober 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C14/06C23C14/35H01L31/032
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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