Optisches Projektionssystem, Belichtungsapparat, und Belichtungsverfahren

EP2108990 Art A1 14. Oktober 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2108990
Aktenzeichen: EP09166329
Anmeldetag: 12. Oktober 2005
Veröffentlichung: 14. Oktober 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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