Messverfahren, Messvorrichtung, Belichtungsgerät und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen

EP2109002 Art A2 14. Oktober 2009

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2109002
Aktenzeichen: EP09156420
Anmeldetag: 27. März 2009
Veröffentlichung: 14. Oktober 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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