Zusammensetzung, System und Anwendungsverfahren für Chemisch-Mechanische Planarisierung

EP2109648 Art B1 1. August 2012

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2109648
Aktenzeichen
EP07869084
Anmeldetag
10. Dezember 2007
Veröffentlichung
1. August 2012
Erteilung
1. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14C09K13/08H01L21/321H01L21/3105C09G1/04B24B7/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
3M Innovative Properties Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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