System und Verfahren zur Steuerung eines Chemischen Aufdampfungsprozesses

EP2109878 Art A1 21. Oktober 2009

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2109878
Aktenzeichen
EP07757045
Anmeldetag
15. Februar 2007
Veröffentlichung
21. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C23C16/48C23C16/44C23C16/505C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Buchhold, Jürgen Frankfurt am Main, Deutschland
341
Patente gesamt
31
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Hochbau & Gebäudetechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen