Abbildung von Streulichteffekten in der Lithographie
EP2110707
Art A1
21. Oktober 2009
Anmelder: IMEC, Samsung Electronics Co., Ltd. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2110707
- Aktenzeichen
- EP08154841
- Anmeldetag
- 19. April 2008
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Samsung Electronics Co., Ltd. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇰🇷
Samsung Electronics
Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
884
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31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte