Verfahren zur Herstellung eines Beschleunigungssensors und Winkelgeschwindigkeitssensor durch Verwendung von einem Verfahren zur Korrektur der Maskenstruktur

EP2110847 Art B1 19. März 2014

Anmelder: Dai Nippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2110847
Aktenzeichen: EP08847989
Anmeldetag: 30. Oktober 2008
Veröffentlichung: 19. März 2014
Erteilung: 19. März 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065G01C19/56G01P15/12G01P15/125H01L29/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dai Nippon Printing

Japanisches Unternehmen der Druckindustrie mit Sitz in Tokio, das sich über klassische Druckerzeugnisse hinaus in Elektronikmaterialien, Displaykomponenten und Verpackungslösungen diversifiziert hat.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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