Verfahren zur Verarbeitung eines Gasstroms

EP2111283 Art A1 28. Oktober 2009

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2111283
Aktenzeichen
EP08702128
Anmeldetag
23. Januar 2008
Veröffentlichung
28. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/14B01D53/18B01D53/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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