Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Elektromagnetischen Strahlungsbündels mit einer Plasmastrahlungsquelle, und Lithographischer Apparat
EP2111568
Art B1
7. Mai 2014
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2111568
- Aktenzeichen
- EP08712608
- Anmeldetag
- 14. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2014
- Erteilung
- 7. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B82Y10/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Slenders, Petrus J. W
NoneEindhoven