Siliziumsubstrat und zugehöriges Herstellungsverfahren

EP2112254 Art A3 1. Juni 2011

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2112254
Aktenzeichen
EP09003023
Anmeldetag
3. März 2009
Veröffentlichung
1. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/20C30B29/06H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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