Optisches System, Fokussierungsverfahren und Abbildungsvorrichtung damit

EP2112542 Art A3 18. November 2009

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2112542
Aktenzeichen
EP09250517
Anmeldetag
26. Februar 2009
Veröffentlichung
18. November 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G02B13/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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