Vorrichtung und Verfahren zum Vakuumbeschichten eines Bandes durch Verdrehen und mehrmaliges Führen des Bandes entlang einer Walze vorbei an einer Behandlungszone
EP2113585
Art A1
4. November 2009
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2113585
- Aktenzeichen
- EP08155400
- Anmeldetag
- 29. April 2008
- Veröffentlichung
- 4. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/56C23C16/54
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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