Siliziumwafer-Verarbeitungsverfahren

EP2113939 Art B1 26. September 2018

Anmelder: Sumco Techxiv Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2113939
Aktenzeichen
EP09159146
Anmeldetag
30. April 2009
Veröffentlichung
26. September 2018
Erteilung
26. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumco Techxiv Corporation
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Jönsson, Hans-Peter Köln, Deutschland
281
Patente gesamt
26
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anorganische Chemie & Werkstoffe Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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