Verfahren zur Herstellung von NMOS- und PMOS-Bauelementen im CMOS Prozessablauf.
EP2113940
Art A1
4. November 2009
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2113940
- Aktenzeichen
- EP08155510
- Anmeldetag
- 30. April 2008
- Veröffentlichung
- 4. November 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/8238H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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